純氧分析儀是利用不同的溶液來相繼吸收氣體試樣中的不同組分，用40％的氫氧化鈉吸收試樣中的二氧化碳；用焦沒食子酸鉀溶液吸收試樣中的氧氣；用氨性氯化亞銅溶液來吸收試樣中的一氧化碳，然后根據吸收前后試樣體積的變化來計算各組分的含量。CH4和H2用爆炸燃燒法測定，剩余氣體為N2。
會影響純氧分析儀分析結果的因素如下：
1、管道材質的選擇。管道材質及表面粗糙度也將影響樣氣中氧含量的變化。一般不宜用塑料管，橡膠管等作為連接管路。通常選用銅管或不銹鋼管，對超微量分析(指<0.1ppm)則必須用拋光過的不銹鋼管。
2、泄漏。在初次啟用前必須嚴格檢漏。只有在嚴密不漏的前提下才能獲得準確的數據結果。任何連接點，焊點，閥門等處的不嚴密，將會導致空氣中的氧反滲進入管道及儀器內部，從而得出含氧量偏高的結果。
3、氣路系統的簡化及潔凈。微量分析要求必須有效排除氣路上的各種管件，閥門，表頭等中的死角對樣氣造成的污染。因此，應盡可能簡化氣路系統，選用死角小的連接件等。并且，避免使用水封，油封及臘封等設備，防止溶解氧逸出造成污染，更需避免在樣氣引出至進口的管線上增加易造成污染的凈化設備等。
4、污染。在重新使用時，首先須注意在連接取樣管路時是否漏入空氣，并且必須認真將漏入的空氣吹除干凈，盡量不使大量氧氣通過傳感器以延長傳感器壽命。在管道系統凈化過程中，為縮短凈化時間，需要有一定的方法，一般使用高壓放氣及小流量吹除交替進行可迅速凈化管道。
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